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attoAFM III 是一款专为低温和超低温应用而设计的原子力显微镜。由于其基于音叉的非光学剪切力检测技术，该系统非常适合光输入受限的应用，例如光敏样品或基于激光的偏转检测系统会产生额外的热负载和功率损耗。attoAFM III 显微镜的典型应用是对半导体结构进行扫描门显微镜 (SGM) 成像。该显微镜兼容粘附在小型石英音叉一端的线型探针，以及市售的集成探针的音叉。当探针接近样品时，由于探针与样品相互作用引起的水平振荡幅度减小会被监测并/或用作反馈信号。该技术的力分辨率通常为 0.1 pN。
attoAFM III 可选配干涉编码器，用于闭环扫描。该显微镜采用一组 xyz 定位器，可在数毫米范围内对样品进行粗略定位；此外，还配备了专用的机械放大压电式 xyz 扫描器，即使在低温下也能实现超大扫描范围。
对于扫描门显微镜实验，attoAFM III 可配备 20 针芯片载物台，从而在成像的同时进行传输测量，以探索可移动局部门对所研究介观器件中电流的影响。
得益于我们功能强大且灵活的 Nanonis Mimea attocube 版 SPM 控制器的开放式信号架构，专家们可以控制所有信号，同时保持非常友好的软件界面。所有输入和输出信号均可通过前面板的 BNC 接口访问，因此可以轻松地进行监控、存储，并用于额外的控制回路或光谱分析。
- 基于音叉的原子力显微镜传感器，采用线状探针：高品质因数，灵敏度高
- 闭环扫描（可选）：易于检索感兴趣区域
- 非光学偏转检测：对低至毫开尔文的二维电子气进行扫描门显微镜成像
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产地 |
德国 |
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通用规格 |
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仪器类型 |
基于音叉的原子力显微镜 (AFM)，采用剪切力或标准检测 |
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传感器头规格 |
蚀刻金属线、蚀刻或拉制光纤探针、扫描隧道显微镜 (STM) 探针、Akiyama 探针（也兼容 NaugaNeedles 商用探针） |
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工作模式 |
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成像模式 |
非接触式 AFM、EFM、SGM |
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斜率补偿 |
双轴扫描平面校正 |
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z 反馈 |
使用内置锁相环 (PLL) 实现振幅调制 (AM)、相位调制 (PM) 或频率调制 (FM) 的 PI 反馈回路，恒力 |
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可选升级 |
AFM/STM 模式 |
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分辨率 |
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测得的 z 噪声密度 |
< 16 pm/√Hz |
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z 位分辨率 @ 4 K |
2 µm 扫描范围内 7.6 pm |
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样品定位 |
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总行程范围 |
5 x 5 x 5 mm³（开环） |
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步长 |
0.05 至 3 µm @ 300 K，10 至 500 nm @ 4 K |
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精细扫描范围 |
50 x 50 x 4.2 µm³ @ 300 K，30 x 30 x 2 µm³ @ 4 K（开环） |
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样品架 |
ASH/QE/0 快速更换样品架，带集成加热器和校准温度传感器 |
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适用工作条件 |
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温度范围 |
1.8 K 至 300 K（取决于低温恒温器）；可根据要求提供 mK 兼容设置 |
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磁场范围 |
0 至 15 T+（取决于磁体） |
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工作压力设计 |
用于氦气交换气体（可根据要求提供低至 1E-6 mbar 的真空兼容版本） |
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适用冷却系统 |
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钛合金外壳直径 |
48 毫米 |
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孔径要求 |
适用于 2 英寸（50.8 毫米）低温恒温器/磁体孔径 |
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兼容低温恒温器 |
attoDRY2200、attoDRY1000 |
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电子设备兼容性 |
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扫描控制器和软件 |
ASC500、Nanonis Mimea |
苏州长显