SHSInspect RL 模块和 SHSInspect RL 测量仪是灵活的单元,可用于双程光学元件的功能测试、表面形状的反射光测量以及光学元件的对准。这些模块将 SHSLab 波前传感器、光纤耦合光源和成像光学元件集成在一个紧凑的系统中,大大地简化了实验室或生产线的集成。
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产地 |
德国 |
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SHSInspectRL模块 |
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照明系统工作波长 |
可见光 (400nm-700nm) 或近红外 (700nm-1050nm) |
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出瞳直径 |
4.2mm/10mm(平面波前) |
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RL模块(不含SHSCam和附加光学元件)的机械特性 |
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尺寸(长x宽x高) |
275x180x90 mm² |
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重量 |
4kg |
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包含配件 |
猫眼模块倾斜校准单元平面镜 |
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RL模块出瞳直径 |
λ/20 PV |
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SHSLab(单独报价,详情请参阅单独的数据表) |
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横向分辨率 |
111 x 93 / 203 x 203微透镜(SHSCam HR3/UHR3) |
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评估率(典型值) |
10Hz/4Hz |
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测量典型值 |
λ/20Pv;取决于应用和校准方法 |
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精度软件 |
SHSWorks |
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波前和泽尼克分析、点扩散函数 (PSF)、调制传递函数 (MTF)、斯特列尔比等。 |
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RL模块与SHSLab的性能 |
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测量典型 |
λ/20 PV;取决于应用和校准方法 |
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精度重复性 |
2nm rmsl |
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可选配件 |
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零透镜 |
提供不同数值孔径(NA)的显微镜物镜(max.NA=0.8) |
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扩束器 |
用于调整准直输出光束的直径 |
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扩束器支架 |
用于稳定模块前方扩束器的机械支架 |
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光源 |
带快速更换准直单元的LED,方便更换光源 |
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校准平面片 |
用于大直径光学元件 |
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参考球 |
用于光学元件的双程测量和物镜校准 |
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工作站PC |
预配置和测试的笔记本电脑或台式电脑 |

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