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OPTOCRAFT光学测试系统SHSInspect RL

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产品介绍

SHSInspect RL 模块和 SHSInspect RL 测量仪是灵活的单元,可用于双程光学元件的功能测试、表面形状的反射光测量以及光学元件的对准。这些模块将 SHSLab 波前传感器、光纤耦合光源和成像光学元件集成在一个紧凑的系统中,大大地简化了实验室或生产线的集成。

性能特点
  • 双程或反射光下的准确测量
  • 模块化设计,测试波长切换简便
  • 可测量多种波长的非球面波前
  • SHSLab 波前传感器可单独使用
技术参数

产地

德国

SHSInspectRL模块

 

照明系统工作波长

可见光 (400nm-700nm) 或近红外 (700nm-1050nm)

出瞳直径

4.2mm/10mm(平面波前)

RL模块(不含SHSCam和附加光学元件)的机械特性

尺寸(长x宽x高)

275x180x90 mm²

重量

4kg

包含配件

猫眼模块倾斜校准单元平面镜

RL模块出瞳直径

λ/20 PV

SHSLab(单独报价,详情请参阅单独的数据表)

横向分辨率

111 x 93 / 203 x 203微透镜(SHSCam HR3/UHR3)

评估率(典型值)

10Hz/4Hz

测量典型值

λ/20Pv;取决于应用和校准方法

精度软件

SHSWorks

波前和泽尼克分析、点扩散函数 (PSF)、调制传递函数 (MTF)、斯特列尔比等。

RL模块与SHSLab的性能

 

测量典型

λ/20 PV;取决于应用和校准方法

精度重复性

2nm rmsl

可选配件

 

零透镜

提供不同数值孔径(NA)的显微镜物镜(max.NA=0.8)

扩束器

用于调整准直输出光束的直径

扩束器支架

用于稳定模块前方扩束器的机械支架

光源

带快速更换准直单元的LED,方便更换光源

校准平面片

用于大直径光学元件

参考球

用于光学元件的双程测量和物镜校准

工作站PC

预配置和测试的笔记本电脑或台式电脑

产品尺寸

产品应用

汽车

摄影光刻

机器视觉

显微镜

平面光学

运动光学

移动设备晶圆级光学

工具、模具、半成品镜头

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