ANSz100lr扫描仪可在低温环境下实现长行程高精度Z轴扫描。该型号可与所有ANP101定位器堆叠使用,并能与ANSxy100扫描仪组合形成三轴扫描单元。该定位器设计工作温度范围为1K至423K,可承受低至5×10-11mbar(/LT/UHV)的真空环境,所有定位器均支持max.150°C的烘烤处理。钛是低温纳米定位器的理想材料,因其质轻、无磁性,且热膨胀系数与压电元件及其他驱动元件匹配,可确保可靠的低温性能。
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产地 |
德国 |
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尺寸与规格 |
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占地面积;高度 |
24 毫米 × 24 毫米;12 毫米 |
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安装空间 |
max.24 毫米 × 24 毫米;12 毫米 |
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重量 |
19 克 |
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高度 |
12 毫米 |
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电缆 |
30 厘米带连接器电缆 |
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材料 |
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定位器主体 |
钛合金 |
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致动器 |
PZT陶瓷 |
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连接线 |
绝缘双绞线,铜质 |
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精细定位模式 |
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精细线性定位范围 @ 300 K |
50 µm |
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精细线性定位范围 @ 4 K |
30 µm |
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精细定位分辨率 |
亚纳米级 |
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典型致动器电容(精细模式 @ 300 K) |
5.55 µF |
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典型精细驱动电容 @ 4 K |
1.75 µF |
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输入直流电压范围 @ 300 K |
0 - 60 V |
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输入直流电压范围 @ 4 K |
0 - 150 V |
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* 扫描范围取决于环境 |
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负载(常温条件下) |
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负载 |
max.100 g |
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通用规格 |
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环境 |
/LT/UHV |
