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产品介绍
AltiSurf 530 专为纳米技术应用而开发，具备晶圆自动对准功能。与 AltiSurf 系列所有 3D 轮廓仪一样，AltiSurf 530 工作站采用新的光学点或线传感器技术，其 300x300 毫米的大尺寸使其非常适合在生产或研发中使用大型零件和样品。
性能特点
- 可测量各种表面（粗糙、透明、黑色、抛光……）
- 测量范围和技术选择丰富（共焦、干涉、接触式）
- 光学测量：对被测部件无损伤
- 测量区域300x300x300mm
- 每个测量点分辨率相同 – 数据精度高
- 相机与其他两个传感器自动切换
- 内置测量协议
- 易于使用的界面：协议自动化
技术参数
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产地 |
法国 |
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测量原理 |
非接触式、光学式，基于共聚焦色差技术、干涉法及其他 |
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测量体积 (X x Y x Z) |
300mm x 300mm x 100mm |
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（可选 Z 轴 200mm 或 300mm） |
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平台移动速度 |
max. 100mm/s |
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平台平面度（校正后） |
2 µm/300mm（小于 1 µm/300mm） |
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测量范围 |
100µm 至 25mm |
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Z 轴分辨率 |
低至 2nm |
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横向分辨率 |
0.7µm |
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测量角度 |
max. 90° ± 45°（可选旋转轴） |
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台阶高度精度 (1µm) |
0.005% |
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可测量粗糙度 (Ra / Sa) |
20nm / 20nm |
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可测量厚度 |
1µm |
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标准 |
ISO 4287、ISO 25178 |
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采集软件 |
Phénix V2 |
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分析软件 |
PhénixMap |
苏州长显