Opto Alignment配件LAS-VRM

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产品介绍

LAS-Vertex/ROC 附件使用定制的高数值孔径顶点测量物镜 (VMO) 和配套的 CalcuLens 顶点测量软件模块,在激光对准与装配工作站 (LAS) 上进行装配时,测量透镜中心厚度 (CT)、气隙、顶点高度以及相对于预定义参考面的曲率半径 (ROC)。装配过程中,VMO 可自动寻找反射激光束的锐利焦点,从而使操作人员能够将透镜顶点的 z 轴位置准确测量到 ±2.5 µm 以内。

性能特点
  • 将新一代激光辅助系统 (LAS) 的对准能力扩展至准确的高度(z 轴)测量
  • 在垂直平台的整个行程范围内,测量装配过程中镜头间的顶点高度
  • 测量空气间隔双胶合透镜/三胶合透镜(堆叠高度 < 50mm)的透镜 CT 值和气隙
  • 测量单个透镜的曲率半径 (ROC)
  • 采用定制高数值孔径 (NA) 物镜的自动对焦算法
  • 采用误差映射的高精度光学编码器,实现微米级精度
  • 为激光辅助系统 (LAS) 的镜头制造和装配过程控制提供强大的补充功能
技术参数

产地

美国

测量位置

z 轴

测量尺寸

±2.5 µm

堆叠高度

< 50mm

平台

垂直

镜片

空气间隔双胶合透镜/三胶合透镜

精度

微米级

测量软件模块

CalcuLens

编码器类型

光学

测量内容

透镜中心厚度 (CT)、气隙、顶点高度、曲率半径 (ROC)

 

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