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Opto Alignment表面轮廓测量仪LAS-SPM
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- 品牌名称：Opto Alignment
- 规格型号：LAS-SPM
- 产品资料：Opto Alignment表面轮廓测量仪LAS-SPM.pdf
产品介绍
经济型快速连接式三维表面轮廓测量模块 (3D-SPM)，适用于激光辅助系统 (LAS)。产品快速连接设计，方便快速组装和拆卸，只需几秒钟，即可将您心爱的激光辅助系统 (LAS) 升级为功能强大的三维表面轮廓仪，而成本仅为购买专用系统的几分之一。通过在激光辅助系统 (LAS) 现有的编码垂直平台和旋转气浮轴承上添加径向扫描轴，即可实现经济型三维表面轮廓测量。采用新一代纳米级分辨率压电扫描和非接触式色差共焦高度测量技术，旨在满足中等精度 (200nm) 的需求。快速易用，学习曲线短。本测量仪是直径达 100mm、顶点高度达 50mm 的非球面和自由曲面三维轮廓测量的理想之选。用户友好的 CalcuSurf3D 配方生成、数据采集和表面分析软件，可优化测量采样密度，从而在高吞吐量下实现覆盖率，同时，丰富的三维表面绘图和数据报告功能。
性能特点
- 只需几秒，即可将您的激光扫描分析仪 (LAS) 变身为功能强大的 3D 表面轮廓仪
- 强大的 CalcuSurf3D 配方生成、数据采集和表面分析功能
- 快速易用，学习曲线短
- 适用于直径达 100 毫米、高度达 50 毫米的非球面和自由曲面 3D 轮廓测量
- 中等精度 (200 纳米)
技术参数
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产地 |
美国 |
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技术 |
色差共聚焦 |
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应用 |
距离、厚度 |
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采样 |
4000 点/秒 |
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采样体积 |
max.50mm x 50mm |
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可用探头尺寸 |
0.5 mm、1 mm、4 mm |
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横向分辨率 |
2 μm、2.5 μm、4 μm |
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工作距离 |
11 mm、16 mm、37 mm |
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垂直分辨率 |
10 nm、40 nm、160 nm |
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垂直精度 |
200 nm、400 nm、1.6 μm |
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倾斜角度max. |
50°、30°、15° |
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厚度测量范围max. |
可达 0.75 mm、1.5 mm、6 mm |
苏州长显