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Opto Alignment旋转轮廓仪站QuickPRO-RPS
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- 品牌名称：Opto Alignment
- 规格型号：QuickPRO-RPS
- 产品资料：Opto Alignment旋转轮廓仪站QuickPRO-RPS.pdf
产品介绍
旋转轮廓仪站 (RPS) 专门用于测量旋转对称样品（例如金刚石调谐光学表面和模制或抛光非球面透镜）的表面形貌和透明薄膜厚度。
性能特点
- 专为测量旋转对称样品（例如金刚石调谐光学表面和模压或抛光非球面透镜）的表面形貌和透明膜厚度而设计。
- 两种尺寸可选：RPS-150 适用于直径 Ф ≤ 150 mm 的样品，RPS-300 适用于直径 Ф ≤ 300 mm 的样品。
- 非接触式、高分辨率、高速色差共焦点传感器，提供三种探头分辨率。
- 集成高精度定心/倾斜台，配备可调压电杠杆探头，可快速便捷地完成样品/卡盘/夹具的对准。
- 纳米级编码的 C/R/Z（旋转、径向、垂直）运动，C 轴采用直接驱动旋转气浮轴承，R 轴和 Z 轴采用直接驱动线性机械轴承。
- 花岗岩底座，配备尺寸稳定的殷钢计量框架。
- 可选配真空钟形卡盘，确保样品稳固夹持。
- 纳米级精度运动控制，具备热补偿和误差映射殷钢编码器门控标尺。
- 用户友好的 QuickPRO仪器控制和数据采集软件，可轻松完成设置，并优化测量采样密度，从而在高通量下实现覆盖率。
- 功能强大CalcuSurf-3D曲面绘图、形状拟合和数据报告软件。
技术参数
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产地 |
美国 |
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系统 |
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尺寸（长x宽x高） |
700毫米 x 630毫米 x 660毫米 |
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重量 |
约60公斤 |
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系统控制器 |
运动和传感器控制；高速数据链路 |
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电源要求 |
110-220 VAC，50-60Hz，2A（220V），5A（110V） |
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压缩空气 |
114升/分钟 [2 CFM] @ 413 kPa [60 psi] |
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运动 |
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测量区域（XYZ） |
直径 150 mm x 宽 50 mm |
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旋转平台 |
气浮轴承（总内反射率 < 50 nm），无铁芯旋转伺服驱动 |
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旋转平台转速 |
max.720 转/分钟 |
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Z 轴平台 |
线性伺服电机，带磁力平衡装置 |
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Z 轴扫描速度 |
50 毫米/秒 |
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径向平台 |
线性伺服电机 |
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R 轴扫描速度 |
100 毫米/秒 |
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扫描类型/路径 |
螺旋式 |
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承重 |
50 公斤 |
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传感器 |
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技术 |
色差共焦点传感器 |
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应用 |
表面轮廓、中心定位和倾斜度；厚度 |
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采样率 |
高达 66,000 点/秒/传感器 |
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可用探头 |
0.5mm (HS)、1.0mm |
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横向分辨率 |
5μm、2μm |
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工作距离 |
11mm、19mm |
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轴向分辨率 |
20nm、4nm |
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斜率max. |
> ±45°、45° |
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厚度范围 (n=1.5) |
30μm - 750μm、45μm - 1500μm |
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测量结果 |
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形状精度 |
150nm PV |
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表面偏心精度 |
0.005mm（相对于基准面） |
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表面倾斜精度 |
0.01° [36角秒]（相对于基准面） |
苏州长显