这款新型光罩对准模块 (LAS-RAM) 专为配合激光对准与装配工作站 (LAS) 而设计,可在多透镜装配过程中快速便捷地将光罩、光圈、光纤、光源和探测器对准透镜的光轴。
RAM 采用直接安装在 LAS 光学模块支架上的伸缩臂,可在数秒内快速从静止位置移动到测量位置。微型 x/y 轴平台可进行准确调整,使待测特征位于相机视场 (FOV) 的中心。集成的 LED 同轴照明可实现正负目标的高对比度成像。通过电动 LAS 垂直轴和自动图像对比度优化功能,可实现准确对焦。RAM 软件应用程序可快速捕获特征并测量全内反射 (TIR),从而更大限度地减少中心定位误差。
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产地 |
美国 |
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相机图像比例尺 |
0.25 μm/像素 |
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相机图像视场角 |
625 μm x 500 μm |
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中心定位精度 |
0.5 μm |
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精度等级 |
亚微米级 |
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测量比 |
可伸缩 |
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轴平台 |
x/y |
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照明 |
LED同轴照明 |
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垂直轴 |
电动 |
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显微镜 |
数字型,高倍率 |