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Opto Alignment三维曲面轮廓仪QuickPRO-3D
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- 品牌名称：Opto Alignment
- 规格型号：QuickPRO-3D
- 产品资料：Opto Alignment三维曲面轮廓仪QuickPRO-3D.pdf
产品介绍
QuickPRO-3D 是一款紧凑型（台式）非接触式计量系统，从设计之初就旨在实现高精度、高速度的表面形貌和薄膜厚度测量，满足严苛的测量要求。其核心测量技术基于高带宽彩色共焦白光传感，并由高力线性电机和纳米级精度光学编码器提供运动控制。坚固的花岗岩平台集成温度传感功能，确保了系统所需的结构和热稳定性，从而保证了 Z 轴方向 150nm 的测量精度和 X/Y 轴方向亚微米级的定位精度。
性能特点
- 紧凑型台式装置，带环境防护罩
- 非接触式色差共焦传感器
- 三维表面形貌和透明膜厚度测量
- 纳米级 X/Y/Z 运动，采用磁力线性电机和交叉滚子轴承
- 可选配真空吸盘，用于样品和托盘的固定
- 用户友好的 CalcuSurf3D 配方生成、数据采集和表面分析软件，可优化测量采样密度，以高通量实现覆盖率
- 符合 DIN ISO 标准的三维表面绘图和数据报告功能
- 可提供定制自动化功能
技术参数
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产地 |
美国 |
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系统 |
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尺寸（长 x宽x高） |
535mm x 380mm x 510mm |
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重量 |
约 60kg |
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系统控制器 |
运动和传感器控制；高速数据链路 |
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电源要求 |
110-220V 交流电，50-60 Hz，2 A（220V），5 A（110V） |
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运动 |
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测量区域（XYZ） |
100mm x 100mm x 50mm |
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位置精度 |
< 1μm |
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驱动类型 |
带磁力平衡的线性伺服电机（Z轴） |
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平台速度 |
100mm/s |
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扫描类型/路径 |
螺旋、光栅、用户自定义 |
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负载能力 |
5kg |
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传感器 |
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技术 |
色差共焦点传感器 |
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应用 |
轮廓和厚度测量 |
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采样率 |
高达 66kHz |
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可用探头 |
0.5mm (HS)、1.0mm、3.0mm |
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横向分辨率 |
5μm、2μm、6μm |
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工作距离 |
11mm、19mm、23mm |
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轴向分辨率 |
20nm、4nm、8nm |
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斜率max. |
> ±45°、±45°、±30° |
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厚度范围 (n=1.5) |
30μm -750μm、45μm -1500μm、180μm -4500μm |
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厚度测量范围 |
max.0.3 mm、1.5 mm、6 mm |
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测量参数 |
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轴向测量精度 |
≤ 150nm |
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厚度精度（TTV） |
≤ 0.002mm（取决于折射率） |
产品应用
透镜（单片及托盘）
金刚石车削零件及模具
微机电系统 (MEMS)
半导体
先进封装
3D 打印产品
微流控芯片
LED 和 OLED
透明薄膜
加工零件
苏州长显