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Opto Alignment4D表面和厚膜轮廓仪QuickPRO-OCT
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- 品牌名称：Opto Alignment
- 规格型号：QuickPRO-OCT
- 产品资料：Opto Alignment 4D表面和厚膜轮廓仪QuickPRO-OCT.pdf
产品介绍
QuickPRO-OCT 结合了单点可见光光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器和高速纳米编码 X/Y/Z 运动控制平台，可在单次测量中捕获透明薄膜样品中每一层的平面结构，测量频率高达 66 kHz。QuickPRO-OCT 的穿透深度（高达 100 µm）和轴向分辨率（5 nm）针对半导体、生命科学等行业中多层透明薄膜、平面基底和功能层的测量进行了优化。
性能特点
- 紧凑型台式设备，配备环境防护罩。
- 单点、非接触式、可见光光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器，测量速率高达 66 kHz。
- 针对高反射材料上多层透明薄膜的形貌和厚度测量进行了优化。
- 采用纳米级编码的 X/Y/Z 运动，配备磁力线性电机和交叉滚子轴承，可实现 100mm (X)、100mm (Y)、50mm (Z) 的快速光栅或螺旋扫描。
- 可选配真空吸盘，用于样品和托盘的固定。
- 用户友好的 CalcuSurf-4D 配方生成、数据采集、表面形貌和多层薄膜分析软件，可优化测量采样密度，从而在高通量下实现覆盖率。
技术参数
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产地 |
美国 |
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系统 |
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尺寸（长x 宽x 高） |
535mm x 380mm x 510mm |
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重量 |
约60kg |
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系统控制器 |
运动和传感器控制；高速数据链路 |
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电源要求 |
110-220V 交流电，50-60 Hz，2 A（220V），5 A（110V） |
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运动 |
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测量区域（XYZ） |
100mm x 100mm x 50mm |
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位置精度 |
< 1μm |
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驱动类型 |
带磁力平衡的线性伺服电机 |
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平台速度 |
100mm/s |
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扫描类型/路径 |
螺旋、光栅、用户自定义 |
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负载能力 |
5kg |
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传感器 |
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技术 |
光谱域光学相干断层扫描（非接触式厚度测量） |
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应用 |
轮廓和厚度测量 |
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采样率 |
高达 66kHz |
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可用探头 |
V-1、N-2、N-3 |
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横向分辨率 |
6.5μm、3μm、3μm |
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工作距离 |
10.6mm、40mm、40mm |
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轴向分辨率 |
1nm、1nm、4nm |
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斜率max. |
±10°、±5°、±5° |
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厚度范围（光程差） |
2μm - 180μm、16μm - 2600μm、114μm -、12.6mm |
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测量 |
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轴向测量精度 |
≤ 0.001mm |
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厚度精度 |
< 0.001mm，取决于折射率 |
产品应用
QuickPRO-OCT 的理想应用是测量硅、GaAs 或玻璃晶圆上的图案化光刻胶（或类似的透明涂层），用于后端半导体、先进封装、显示器、LED、VCSEL 和 MEMS，作为显影后和蚀刻前的质量控制。
苏州长显