XLS-5系列是由超声波压电电机驱动的线性平台。这些平台兼具高速定位和纳米级精度,并在小体积内产生高力输出。Xeryon的超声波压电电机确保了平台的长寿命、无噪音和无振动运行。此外,自锁式压电电机可在断电时保持平台的位置。较低的散热量造就了非常稳定的纳米定位系统。XLS-5广泛应用于各个行业和领域,例如零件对准或样品操控。XLS-5系列提供多种长度规格,并可轻松堆叠成XY或XYZ组件。
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产地 |
比利时 |
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类型 |
光学式、增量式 |
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工作台长度 |
40 毫米 |
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编码器反馈分辨率 |
312 纳米 |
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可选 |
短行程 (SC) 以增加行程 |
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D-sub 连接器 (C1) |
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电缆长度 |
150 厘米 |
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温度范围 |
-30°C 至 +70°C |
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湿度范围 |
20% 至 90% RH(无冷凝) |
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散热量(仅电机) |
< 6 W |
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安装面平整度 |
< 平台平整度规格 |
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内部工作电压 |
60 V |
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尺寸 |
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长度 |
40 毫米 ± 0.1 毫米 |
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宽度 |
47.6 毫米 ± 0.1 毫米 |
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高度 |
16.8毫米 ± 0.1 毫米 |
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驱动力 |
5 N(min) |
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保持力 |
5 N(min) |
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被动保持刚度 |
1 N/µm |
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滑块/底座 |
铝 |
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涂层 |
无(空白) |
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轴承 |
440C不锈钢;全陶瓷(-NM) |
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紧固件 |
A4级不锈钢 |