XRT-U 是一款紧凑型高精度旋转平台,由超声波压电电机驱动。Xeryon 的超声波压电电机确保了高速、长寿命和静音运行。这使得 XRT-U 成为适用于各种定位和计量应用的先进旋转平台。滚珠轴承可实现低的运动误差。XRT-U 提供四种尺寸和多种可选配置。它可轻松堆叠到 Xeryon 线性平台上,可以直接堆叠在顶板上,也可以使用可选的接口板进行堆叠。

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产地 |
比利时 |
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转子直径 |
约 30 毫米 |
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编码器反馈分辨率 |
49 微弧度 |
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真空兼容性 (HV) |
是 |
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可选 |
D-sub 连接器 (C1) |
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电缆长度 |
150 厘米 |
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温度范围 |
-30°C 至 +70°C |
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湿度范围 |
20% 至 90% RH(无冷凝) |
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散热量(仅电机) |
< 1 W (XRT-U-30/40) |
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< 1 W (XRT-U-25 单电机) |
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< 2 W (XRT-U-25 双电机) |
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< 5 W (XRT-U-60) |
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安装面平整度 |
< 20 µm |
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内部工作电压 |
48-60 V |
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尺寸 |
40 x 35 x 21mm ± 0.1 |
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孔径 |
7mm +0/+0.05 |
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旋转范围 |
> 360º |
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重量(不含连接器) |
80g |
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转子 |
AISI316不锈钢 |
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外壳 |
铝坯 |
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轴承 |
不锈钢;全陶瓷(-NM) |
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紧固件 |
A4级不锈钢 |

半导体制造与测试
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