AOM圆柱体计算机生成全息图(CGH)可用于对圆柱光学元件进行干涉测量。利用CGH,可以测量凸凹圆柱光学元件在整个孔径范围内的表面形貌误差。此外,还可以使用具备曲率半径测量功能的干涉仪平台来测量圆柱体的曲率半径。标准的AOM圆柱体CGH包括带有圆柱体零位图案、反向对准图案、抗反射涂层背面以及带有不锈钢安装球的机械单元,用于与AOM FP3对准台连接。
圆柱形计算机生成全息图(CGH)是一种衍射光学元件,它将准直干涉仪波前转换为会聚圆柱波前。凹圆柱和凸圆柱光学元件都可以在共焦零位测试中使用同一个CGH进行测量。将凸圆柱光学元件置于会聚波前,将凹圆柱光学元件置于发散波前。
|
产地 |
美国 |
|
标准 f/#s |
0.7、0.9、1.0、1.5、2.0、3.0、4.0 |
|
后焦距 (BFD) |
29.4 - 358.7 mm |
|
零位光斑尺寸 |
60 mm(正方形) |
|
逆位光斑尺寸 |
67.2 mm(正方形) |
|
入射光束 |
准直 |
|
Inƞ.参考光学元件 |
透射平面 (TF) |
|
工作波长 |
632.8 nm |
|
CGH 类型 |
二元相位(蚀刻玻璃) |
|
基片尺寸 |
3”x 3”x 0.25” |
|
测量误差贡献 |
< 15 nm RMS(未校准) |
|
|
< 6 nm RMS(已校准) |
|
CGH 相对于 inƞ 的倾斜角度 |
绕 X 轴 -1°(+Y 轴朝向 inƞ) |
|
测试光学元件相对于 CGH 的倾斜角度 |
绕 Y 轴 1°(+X 轴朝向 inƞ) |
|
样品池规格 |
C3,带 1/4”安装球 |
|
对准平台兼容性 |
AOM FP3 平台 |