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产品介绍
声光调制器 (AOM) 圆柱计算机生成全息图 (CGH) 可用于对圆柱光学元件进行干涉测量。使用 CGH 可以测量凸凹圆柱光学元件在整个孔径范围内的表面形状误差。此外，还可以使用具备半径测量功能的干涉仪平台测量圆柱曲率半径。AOM 标准圆柱 CGH 包括带有圆柱零位图案、反向对准图案、抗反射涂层背面的熔融石英基板，以及带有 1/4 英寸不锈钢安装球的机械单元，用于与 AOM FP3 对准平台连接。
性能特点
- 柱面CGH是一种衍射光学元件，它将准直干涉仪波前转换为会聚柱面波前。
- 凹凸柱面光学元件可以在共焦零位测试中使用同一CGH进行测量。将凸柱面光学元件置于会聚波前，将凹柱面光学元件置于发散波前。
- C2XXXS-BC 2英寸圆柱体CGH安装在C3机械单元中，带有1/4英寸磁性安装球。CGH安装在FP3-Z-H425 6自由度对准平台上，带有线性Z轴。
- 待测圆柱光学元件的尺寸和曲率半径决定了圆柱CGH光圈值。应选择合适的CGH光圈值以优化表面和测试光束的覆盖范围。
技术参数
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产地 |
美国 |
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标准 f/#s |
0.7、1.0、1.5、2.0、3.0、4.0、5.0、6.0 |
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后焦距 (BFD) |
18.6 - 227.2 mm |
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零位模式尺寸 |
38 mm（正方形） |
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逆位模式尺寸 |
41.6 mm（正方形） |
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入射光束 |
准直 |
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入射光参考光学元件 |
透射平面 (TF) |
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工作波长 |
632.8 nm |
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CGH 类型 |
二元相位（蚀刻玻璃） |
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基片尺寸 |
2” x 2” x 0.25” |
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测量误差贡献 |
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< 15 nm RMS（未校准） |
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< 6 nm RMS（已校准） |
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CGH 相对于 Intif 的倾斜角度 |
X 轴 -1 度（+Y 轴朝向 inƞ） |
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测试光学元件相对于 CGH 的倾斜角度 |
Y 轴 1 度（+X 轴朝向 inƞ） |
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样品池规格 |
C3，带 1/4” 安装球 |
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对准平台兼容性 |
AOM FP3 平台 |
苏州长显