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产品介绍
Quantum X 是一款基于双光子聚合技术的可配置高精度 3D 打印机。它能够在各种尺度上，以亚微米级的精度和准确度，实现复杂 2.5D 和 3D 形状的快速原型制作和晶圆级批量生产。这款多功能高分辨率 3D 打印机可在 3D 微加工领域实现更高的性能。它是科研实验室的理想之选，涵盖从微机电系统 (MEMS) 到微机械等多种应用领域，可满足不同尺度和应用需求。
性能特点
- 基于双光子聚合的高分辨率3D打印技术，可用于制造复杂的纳米、微米、介观和宏观结构。
- Quantum X 型光刻机为科学研究应用提供了多功能性和灵活性。
- 它涵盖多个数量级——从纳米级结构到厘米级物体，并具备高通量生产能力。
- 该设备专为大学、研发中心和多用户实验室等科研环境而设计。
- 您可以通过触摸屏或 nanoConnectX 操作多光刻系统，适用于各种材料和基板。
- 该系统具备工业级精度、可靠性和有效率的晶圆批量生产能力。
- 在微机械、微机电系统 (MEMS)、材料工程、微光学和生命科学等广泛应用领域，该系统都能助您取得成功。
技术参数
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产地 |
德国 |
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表面粗糙度 (Ra) |
低至 ≤ 5 nm |
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特征尺寸控制 |
x/y 方向低至 100 nm |
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形状精度 (Sa) |
低至 ≤ 200 nm |
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批量处理 |
一夜之间可处理多达 200 个典型的中尺度结构 |
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无缝零件直径 |
max. 4,000 µm |
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扫描速度 |
max. 6.25 m/s 除以镜头放大倍率 |
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基材 |
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显微镜载玻片 |
3”x 1”/ 76 x 26 mm² |
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晶圆 |
1”至 8”25.4 mm 至 200 mm |
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平面基材 |
max.100 x 100 mm² |
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底皿 |
玻璃 |
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材料 |
玻璃、硅及其他透明和不透明材料 |
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光刻胶 |
Nanoscribe 光刻胶（聚合物打印） |
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Nanoscribe GP-Silica（玻璃打印） |
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接受第三方或定制材料 |
苏州长显