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产品介绍
EKSMA垂直定位器940-0218 是立陶宛EKSMA公司生产的一款高精度电动垂直定位台。
电动垂直定位台940-0218可为重达10公斤的负载提供高精度定位和平稳移动。该系统与高质量线性轴承导轨一起确保在所有行程范围内实现刚性移动，并延长使用寿命。根据应用的具体情况，可以使用其他步进电机或伺服系统。步进电机可配备线性编码器和制动器。
性能特点
- 平台的真实垂直标高
- 紧凑型设计
- 寿命长
- 可根据要求提供真空兼容版本
技术参数
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产地 |
立陶宛 |
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行程范围 |
25.4毫米（1英寸） |
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全阶分辨率 |
5µm |
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1/256步进分辨率 |
0.019µm |
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编码器每转脉冲数 |
根据要求 |
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引线螺距 |
1 mm |
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楔块减速率 |
1:1 |
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单向重复性 |
1.5µm |
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双向重复性 |
3µm |
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精度 |
10µm |
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升力平行度 |
35µm（根据要求，可达15µm） |
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速度 |
max.20 mm/s |
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负载能力 |
max.10 kg（按要求提供15 kg） |
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步进电机 |
4247 |
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制动器 |
根据要求 |
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光耦端限位开关 |
2个 |
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开关极性 |
按下打开 |
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电机连接器 |
DB9（M） |
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材料 |
铝 |
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表面处理 |
黑色阳极氧化硬盖 |
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重量 |
4.05 kg |
产品应用
光学领域：
激光加工：准确调整光路或工件位置。
光学检测：定位光学元件或样品，确保检测精度。
光测量：微调测量设备位置，提升数据准确性。
精细工程：
微电子制造：定位芯片或精细部件，保障加工质量。
生物医学：调整显微镜载物台或实验样品位置。
科研实验：
物理实验：准确控制实验装置位置，减少误差。
材料分析：定位样品或检测探头，提升分析精度。
苏州长显