准分子激光器通过电子束或快速脉冲放电激励准分子(惰性气体和卤素气体结合的分子),使其从基态跃迁至激发态。当激发态的准分子离解回基态原子时,释放的能量以激光辐射的形式输出。由于准分子的基态是排斥性的,易实现粒子数反转,因此量子效率高,接近100 percent,且可以高重复频率运转。
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产地 |
俄罗斯 |
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波长 |
248 nm (KrF) |
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稳定脉冲能量 |
170 mJ |
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功率 |
17 W |
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重复频率 |
100 Hz |
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空间相干性 |
> 800 μm(50% 可见度) |
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脉冲宽度 |
20 ns (FWHM) |
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能量稳定性 |
σ < 0.75% |
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光束尺寸 |
4.5×16 mm (FWHM) |
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光束发散角 |
< 0.3×0.3 μrad |
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抖动 |
< 2 ns |
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PC 控制 |
RS 232 |
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冷却方式 |
水冷,流量 > 3 L/min,温度 15 + 20°C |
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电气规格 |
380/220V,50H,10A |
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重量 |
~170 kg |
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尺寸(长 x 宽 x 高) |
1430 x 380 x 760 cm |