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Altimet晶圆测试仪Altisurf 500

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产品介绍

AltiSurf 500 是 AltiSurf 系列的畅销产品。这款计量站融合了新的光学点或线传感器技术。无论您需要分析的材料种类繁多(金属、玻璃、纺织品等),还是需要进行质量控制(粗糙度、形状、尺寸),这款仪器都能满足您的实验室测量需求。

AltiSurf 500 的模块化架构及其丰富的可选配置,可为您提供自动化生产控制和实验室表征的一站式解决方案。

性能特点
  • 可测量各种表面(粗糙、透明、黑色、抛光……)
  • 测量范围和技术选择丰富(共焦、干涉、接触式)
  • 光学测量:对被测部件无损伤
  • 测量区域100x100x100mm
  • 每个测量点分辨率相同 – 数据精度高
  • 相机与另外两个传感器自动切换
  • 内置测量协议
  • 易于使用的界面:协议自动化
技术参数

产地

法国

测量原理

非接触式、光学式,基于共焦技术

 

色差技术、干涉法及其他

测量体积(X x Y x Z)

100mm x 100mm x 100mm

平台移动速度

可达 100mm/s

平台平面度(校正后)

2 µm/100mm(小于 1 µm/100mm)

测量范围

100µm 至 25mm

Z 轴分辨率

低至 2nm

横向分辨率

0.7µm

测量角度

可达 90° ± 45°(可选旋转轴)

台阶高度精度(1µm)

0.005%

可测量粗糙度(Ra / Sa)

20nm / 20nm

可测量厚度

1µm

标准

ISO 4287、ISO 25178

采集软件

Phénix V2

分析软件

PhénixMap

 

 

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