ZONDA六足机器人是一款新型高性能六自由度系统,满足同时需要高精度、稳定性、准确性、重载能力和大行程范围的应用需求。
ZONDA六足机器人专为定位高达400公斤的有效载荷而设计,其定位精度可达50纳米,提供卓绝的行程范围:XY轴400毫米,Z轴300毫米,以及Rx、Ry和Rz三个旋转轴各40度。
得益于采用极低热膨胀系数(CTE)的因瓦合金部件、标准集成于执行器中的线性Absolutely编码器以及高刚性关节设计,ZONDA六足平台具备好的精度与热稳定性。
ZONDA六足平台可适应任意安装姿态:垂直、水平、倒置...
可选配高真空(10⁻⁶ mbar)或洁净室兼容版本。
高稳定性
分辨率 0.1 微米
max载荷能力 400 千克
真空兼容性
大行程范围
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产地 |
加拿大 |
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行程范围 Tx, Ty (mm) |
± 200 |
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行程范围 Tz (mm) |
± 150 |
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行程范围 Rx, Ry (deg) |
± 20 |
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行程范围 Rz (deg) |
± 20 |
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分辨率 Tx, Ty, Tz (nm) |
0.1 |
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分辨率 Rx, Ry, Rz (μrad) |
0.5 |
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重复定位精度 Tx, Ty, Tz (纳米) |
± 0.5 |
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重复定位精度 Rx, Ry, Rz (微弧度) |
± 2 |
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速度 (毫米/秒; 度/秒) |
0.6; 0.04 |
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刚度 X, Y (牛顿/微米) |
8.5 |
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Z轴刚度 (N/μm) |
30 |
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有效载荷 (kg) |
400 (垂直方向) |
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140 (水平方向) |
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电机类型 |
步进电机 |
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编码器类型 |
Absolutely式线性编码器 |
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工作温度范围 (°C) |
0 至 +75 |
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材料 |
铝 |
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钢 |
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不锈钢 |
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因瓦合金 |
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聚醚醚酮 |
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移动平台尺寸(mm) |
Ø720 |
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中位高度(mm) |
640 |
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重量(kg) |
99 |
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电缆长度(m) |
<5 |
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选项 |
洁净室兼容性 |
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真空兼容性 |
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定制平台设计 |
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控制器类型 |
ALPHA |
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接口 |
以太网、USB |
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电源 |
110-240 VAC / 50-60 Hz |

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