KUBAN六足机器人是一款稳定的6自由度系统,专为实现空间元素的高精度定位而设计,其定位分辨率可达1.5微弧度。
通过配置高分辨率执行器与高精度球形关节的集成方案,KUBAN六足机器人在实现高达500千克有效载荷的同时,具备卓绝的分辨率与重复定位精度。
KUBAN六足机器人以高精度将镜片定位于真空腔室内。为确保避免因意外超限导致部件损伤,其移动平台下方安装了倾斜限位开关,当达到max滚转角度时将自动停止运动。
KUBAN六足机器人能在短时间内高精度对准偏振仪。
高度 600 毫米
分辨率 1.5 微弧度
重复精度 ± 5 微弧度
max载荷能力 500 千克
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产地 |
加拿大 |
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行程范围 Tx, Ty (mm) |
± 25 |
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行程范围 Tz (mm) |
± 25 |
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行程范围 Rz (deg) |
± 3 |
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分辨率 Tx, Ty (μm) |
0.2 |
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分辨率 Tz (μm) |
0.1 |
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分辨率 Rx, Ry (μrad) |
1.5 |
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分辨率 Rz (μrad) |
2 |
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重复定位精度 Tx, Ty (μm) |
± 1 |
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重复定位精度 Tz (μm) |
± 0.5 |
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重复定位精度 Rx, Ry (μrad) |
± 5 |
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重复定位精度 Rz (μrad) |
± 8 |
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速度 (mm/s; deg/s) |
0.25; 0.05 |
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有效载荷 (kg) |
500 |
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电机类型 |
步进电机 |
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工作温度范围 (°C) |
0 至 +50 |
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材料 |
铝、钢、不锈钢 |
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占地面积 (mm) |
Ø600 |
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中位高度(mm) |
600 |
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重量(kg) |
140 |
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电缆长度(m) |
5 |
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控制器类型 |
ALPHA |
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接口 |
以太网、USB |
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电源 |
110-240 VAC / 50-60 Hz |

同步加速器:反射镜、偏振仪或腔体支架
光学元件