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选择性激光蚀刻 (SLE) 是一种减材激光技术，能够以微米级精度制造复杂形状的三维玻璃零件。该技术包含两个制造步骤：飞秒激光照射和后续化学蚀刻。聚焦的飞秒激光束会在激光束焦点内对透明材料进行改性。通过空间移动激光焦点，可以逐点地在基材表面刻蚀出清晰的结构。之后，将样品浸入蚀刻液中，蚀刻液会去除激光改性区域。
SLE 常用于电子器件和其他元件的制造，因为它能够实现高精度和高细节的蚀刻图案。此外，由于激光束高度聚焦，因此可以用于蚀刻非常小巧且复杂的图案。
- 减材制造技术
- 可制造任意形状的三维玻璃结构，尺寸从微米到厘米
- 适用于多种玻璃材料
- 用于自动激光束对准的自对准系统
- 微米级特征分辨率
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产地 |
立陶宛 |
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材料 |
熔融石英、硼硅酸盐玻璃 |
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特征尺寸min. |
> 1 μm |
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表面粗糙度min. |
< 200 nm |
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物体高度max. |
1.6 cm |
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长宽比 |
> 1 : 200 |
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微孔直径min. |
5 µm |
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写入速度 |
50 mm/s |
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飞秒激光光源 |
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波长 |
1030 ± 10 nm |
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重复频率 |
单次 – 1 MHz |
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脉冲持续时间 |
290 fs – 20 ps（可调） |
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平均功率max. |
10 W |
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长期功率稳定性 |
100 小时内 < 0.5% RMS |
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XYZ定位平台，安装于花岗岩底座上，带桥架 |
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行程（XYZ） |
160 mm × 160 mm × 60 mm |
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精度（XYZ） |
± 300 nm |
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分辨率（XYZ） |
1 nm |
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速度（XY） |
max.200 mm/s |
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振镜扫描器 |
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精度 |
50 μrad |
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重复性 |
0.4 μrad RMS |
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其他参数 |
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实时监控 |
制造过程由集成机器视觉系统监控。 |
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无缝拼接 |
采用Infinite视场 (IFoV) 实现无缝拼接。 |
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聚焦光学系统 |
物镜 - 数值孔径 (NA) 0.25 至 0.45。 |
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自动对焦系统 |
自动检测玻璃/聚合物或玻璃/空气界面。 |
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自对准系统 (SAS) |
自动激光束路径对准系统。 |
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基底 |
通用真空样品架，配备计算机控制的位置同步照明，适用于透明样品。 |
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光束传输与控制 |
电动衰减器、偏振旋转器、扩束器。集成功率计可实现实时功率监控。 |
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软件 |
方便地控制所有必要的工艺参数和机器设置。该软件可处理常用 CAD 程序创建的标准 3D 设计格式，例如 STL 文件。 |
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激光安全 |
符合人体工程学的外壳，确保激光安全等级为 1 级，并为激光微加工工艺提供稳定的环境条件。 |
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物理尺寸 |
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所有门关闭时的尺寸（宽 × 长 × 高） |
1790 毫米 × 920 毫米 × 2270 毫米 |
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所有门打开时的尺寸（宽 × 长 × 高） |
2680 毫米 × 1900 毫米 × 2300 毫米 |
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重量 |
约 700 公斤 |
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环境及公用设施要求 |
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工作温度 |
20 ± 2 °C |
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相对湿度 |
≤ 60% |
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电气要求 |
110 VAC，20 A – 230 VAC，10 A |
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交流功率（正常运行） |
典型值 2 千瓦 |
微机械学
微流体学
芯片实验室
苏州长显