LEJ深紫外线系统lh-qx-100.60+ebqx 100-

光源

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产品介绍

该深紫外照明系统采用高度稳定的直流电源，且无热漂移，可提供非常稳定的紫外照明。灯管、反射镜和集电极的准确、可重复调节，确保了更好的对准。该系统是晶圆检测、光学元件审查和光掩模分析的理想之选，尤其适用于检查精细结构和线宽中的误差和缺陷。

性能特点

产品结构与细节

1、灯壳：lh-qx 100.60

0000013780

2、镇流器：ebqx 100-04

0000008708

3、紫外收集器光学元件（客户要求）

4、滨松灯管：L8029 / L2422

0000013812 /0000018455

5、显微镜适配器（客户要求）

技术参数

产地	德国
灯体 lh-qx-100.60
固定方式	灯体通过法兰或燕尾槽固定，灯泡通过带 x、y 轴调节的灯座固定
点火装置	集成式高压点火装置
反射器	带 x、y、z 轴调节的反射镜
集光器	带 z 轴调节
安全	符合 EN 61010-1 标准
设备防护等级	I 级
防护等级	IP 20 (EN 60529)
安全电路	打开时断电
环境温度	0°C 至 +40°C
尺寸（高 x 宽 x 深）	169 x 126 x 154 毫米
重量	3.4 千克
镇流器 ebqx 100-
功能	适用于 100 瓦汞氙灯
灯泡型号	滨松 L8029-01、L2422-01
灯泡连接	M1 6+PE插座，Schaltbau
安全	安全电路，过热保护
输入参数
市电电压	90 至 264 VAC
电源频率	47 至 63 Hz
功耗	170 VA
输出参数
工作模式	恒流
功率	max. 130 W
输出电流	5.5 ± 0.3 A
空载电压	60 ± 5 VDC
灯泡电压	10 至 18 VDC
点火电压	外部点火装置
尺寸（宽 x 高 x 深）	167 x 85 x 222 mm
重量	2.0 kg

产品应用

用于光掩模光学检查和分析的照明设备，尤其适用于检测结构和线宽方面的错误或缺陷

晶圆检测

去污

产品中心