FQCW266激光器采用即插即用设计,用户无需进行复杂的安装和调试工作即可快速上手使用。这一设计大大缩短了激光器的部署时间,提高了工作效率。配备有控制单元,用户可通过串行接口(RS232和USB)进行按钮控制或远程控制。这一功能使得用户能够灵活地调整激光器的参数,满足不同的应用需求。内置谐振频率转换级,这一设计使得激光器能够有效率地输出固定波长为266nm的光。这一波长的光在紫外光谱范围内,具有广泛的应用价值,如材料加工、科学研究等。采用专用泵浦源,确保稳定且有效率的能量输入,从而输出高质量的激光束。泵浦源的稳定性对于激光器的长期运行和性能表现至关重要。
产地:德国
波长:266 ± 1 nm
输出功率(可调性):1000 mW ± 5 % (100-1000 mW)
线宽:< 300 kHz
光束传播因子M²:< 1.3,TEM00
光束质量 M²x(水平):< 1.2,TEM00
光束质量 M²y(垂直):< 1.35,TEM00
偏振方向和纯度:> 500:1,垂直
光束直径:1.0 ± 0.2 mm
光束发散度:< 0.45 mrad
光束指向稳定性:< 3 μrad/K,< 3 μrad/h
静态对准公差:横向± 0.25 mm,角度 ± 2.5 mrad
光束指向稳定性:± 200 μrad
功率稳定性(8 小时内 0.5 Hz):< 0.2 % rms
强度噪声(1 Hz – 100 kHz) :< 1 % rms
强度噪声 (100 kHz – 250 MHz) :< 0.2 % rms
平均功耗(max):< 200 W (450 W)
线路电压:90 – 250 V AC (50-60 Hz)
通信接口:USB / RS232 / 以太网
安全功能:钥匙开关、联锁、电动快门
预热时间:< 45 分钟
晶点寿命(小时):1,000
总寿命(小时):清除 20.000 / 未清除 16.000
工作温度(激光头):20 – 25 °C(无冷凝)
激光头尺寸:143 x 325 x 739 mm³(高 x 宽 x 长)
控制单元尺寸:184 x 483 x 411 mm³(高 x 宽 x 长)
激光头重量:36 千克
控制器单元重量:12 千克

晶圆检测