FQCW266 系列 DPSS-CW D UV 激光器在单模操作下可在 266 nm 下提供高达 1 W 的功率。与其他 266 nm 的 CW 激光器相比,FQCW266 系统具有超过 1000 m 的长相干长度、窄线宽(<300 kHz),功耗低于 200 W(平均 100 W)。中心波长在空气中可在 266.020 nm 和 266.070 nm 之间变化。波长针对激光介质的增益值(max)进行了优化。通常,abs.波长设置为 266.050 nm +/- 0.003 nm(空气)。对于所有型号,激光器都可以以标称输出功率的 10% 至 110% 运行(即 1 mW ...11 mW,步长为 0.1 mW)。控制通过软件进行。密封外壳使激光器相对免维护,特别适合工业长时间运行。
FQCW266 具有谐振频率转换级,使用专用泵浦源发射固定波长 266 nm 的光。激光头密封在铝制外壳中,可在各种环境条件下工作。激光头的散热通过空气冷却实现 - 无需其他设备(冷却器、风扇等)。
FQCW-266 即插即用激光器配有控制单元,可通过串行接口(RS232 和 USB)进行按钮控制或远程控制。激光器提供好的光束特性,M² <1.3,光束发散度 <0.8 mrad(全角),噪音低于 0.5 %rms(100 kHz-10 MHz),功率稳定性高(8 小时内 <1%)。FQCW266 是一款紧凑型固态激光器,外壳经过精心设计,可完全实现免提操作。
产地:德国
波长:266 ± 1 nm
输出功率(可调性):300 mW ± 5 % (30-300 mW)
线宽:< 300 kHz
光束传播因子:M² < 1.3,TEM00
光束质量 M²x(水平):< 1.2,TEM00
光束质量 M²y(垂直):< 1.35,TEM00
偏振方向和纯度:> 500:1,垂直
光束直径:1.0 ± 0.2 mm
光束发散度:< 0.45 mrad
光束指向稳定性:< 3 μrad/K,< 3 μrad/h
静态对准公差:横向± 0.25 mm,角度 ± 2.5 mrad
光束指向稳定性:± 200 μrad
功率稳定性(8 小时内 0.5 Hz):< 0.2 % rms
强度噪声(1 Hz – 100 kHz) :< 1 % rms
强度噪声 (100 kHz – 250 MHz) :< 0.2 % rms
平均功耗(max):< 200 W (450 W)
线路电压:90 – 250 V AC (50-60 Hz)
通信接口:USB / RS232 / 以太网
安全功能:钥匙开关、联锁、电动快门
预热时间:< 45 分钟
晶点寿命(小时):清除 1.500 / 未清除 1.000
总寿命(小时):清除 20.000 / 未清除 16.000
工作温度(激光头):20 – 25 °C(无冷凝)
激光头尺寸:143 x 325 x 739 mm³(高 x 宽 x 长)
控制单元尺寸:184 x 483 x 411 mm³(高 x 宽 x 长)
激光头重量:36 千克
控制器单元重量:12 千克

晶圆检测