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EKSMA电动垂直升降台940-0220是一款专为高精度垂直位移控制设计的电动设备。
电动垂直升降台940-0220可提供准确的垂直平移，用于提升重达8公斤的物体。步进电机可选配1000线旋转编码器。
电动定位器和控制器包括：电动镜架、电动垂直和水平平移台、电动延迟线、电动旋转台、电动角度计、电动螺丝和致动器、带直流电机的窄电动平移台、控制器卡和软件。
高精度定位
采用千分尺驱动系统，灵敏度达1µm，重复精度±2µm，确保微米级位移控制。
配备光学限位开关，实现行程末端精细停止，避免机械碰撞。
稳定结构
紧凑型设计，铝制主体经黑色阳极氧化处理，抗腐蚀性强且重量轻（约4.05kg）。
楔形减速比4:1，结合高刚性线性轴承导轨，确保升降过程平稳无抖动。
真空兼容性
可选配真空版本，适用于超净间或真空环境下的精细操作（如半导体制造、光学镀膜等）。
灵活配置
支持步进电机或伺服系统驱动，可根据需求升级线性编码器和制动器。
提供DB9电机连接接口，兼容多种控制器（如8SMC5-USB）。
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产地 |
立陶宛 |
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行程范围 |
5 mm |
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全阶分辨率 |
0.625 μm |
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1/8步进 |
0.078 μm |
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导螺杆螺距 |
0.5 mm |
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楔块压下率 |
4:1 |
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重复性 |
3 μm |
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精度 |
10 μm |
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提升平行度（与底座） |
20 μm |
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安装表面平整度 |
10 μm |
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位置稳定性（max） |
3 μm |
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速度 |
max.2.5 mm/s |
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负载能力 |
max.8 kg |
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限位开关 |
光电耦合器 |
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电机连接器 |
DB9（M） |
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步进电机 |
4247 |
光学实验
用于激光聚焦、光学元件对齐等需要微米级调整的场景。
示例：在激光加工中，通过940-0220准确控制工件与激光头的垂直距离，确保加工精度。
半导体制造
真空兼容版本适用于晶圆检测、光刻胶涂布等无尘环境操作。
示例：在芯片封装过程中，利用其高稳定性实现引脚与焊盘的准确对接。
精细测量
结合光谱仪或干涉仪，用于表面形貌测量或薄膜厚度检测。
示例：在膜厚仪中，通过940-0220驱动样品台，实现多层薄膜的逐层扫描分析。
科研领域
适用于材料科学、生物学等需要垂直位移控制的实验平台。
示例：在细胞培养中，通过其准确升降功能调整显微镜与载玻片的距离，优化成像质量。
苏州长显