COHERENT准分子激光器COMPex 50
来源:网络 阅读:388 发布时间:2025-12-17 17:23:24
COHERENT准分子激光器COMPex 50

作为美国 COHERENT 品牌旗下的优质产品,COMPex 50 准分子激光器凭借紧凑的设计、便捷的安装操作特性,成为科研与工业领域备受青睐的高效光源选择。其兼顾高性能与实用性的核心优势,更让其在多场景应用中展现出强劲的适配能力。

核心性能

COMPex 50该激光器支持 157nm-351nm 多波长自由选择,可精准匹配不同场景的作业需求;

脉冲能量最高可达 750mJ,搭配 75% 的脉冲稳定性(均方根值),确保输出能量的均匀可靠。

同时,设备搭载陶瓷预电离功能与改进型气体处理器,这一创新设计不仅有效延长了气体与光学部件的使用寿命,更降低了长期使用中的维护成本,提升了设备运行的持续性与经济性。

关键技术参数

标准工作波长为 193nm

脉冲能量达 100mJ

最大重复频率可至 50Hz

平均功率稳定在 4W,能够满足高精度作业对光源能量与频率的严苛要求。

机身尺寸为 1258×375×813mm³

重量控制在 280 公斤,便于在各类实验室或生产车间灵活布局;

冷却系统方面,需配备≤5 升 / 分钟、温度范围 10-20°C 的水冷支持,确保设备在长时间运行中维持稳定工况。

应用场景

在科研领域,它是脉冲激光沉积(PLD)实验的理想光源,为薄膜材料研究提供稳定支持;

在工业加工中,可精准应用于薄晶圆加工、激光剥离等高精度工艺;

其稳定的能量输出与波长特性,也使其适配固体取样系统(LA-ICP-MS),为物质成分分析等场景提供可靠的技术支撑。