COMPex 50 是 COHERENT 针对高要求应用场景开发的准分子激光器，其核心优势在于将高效光源与模块化设计结合，兼具安装便捷性与操作稳定性。设备采用陶瓷预电离技术，可输出最高 100 mJ 的脉冲能量，配合改进的气体处理器，显著延长气体与光学元件的使用寿命。无论是实验室中的材料沉积研究，还是工业产线的精密加工，COMPex 50 均能通过稳定的脉冲输出实现精准控制。
核心技术特性：
多波长灵活性，适配全材料加工
COMPex 50 支持 157 nm、193 nm、248 nm、308 nm 和 351 nm 等多波长选择，覆盖深紫外到紫外波段，可根据材料特性（如金属、陶瓷、半导体、聚合物等）灵活调整，实现从薄膜沉积到材料刻蚀的全场景适配。其中 193 nm 波长版本为典型配置，适用于半导体光刻、硅片加工等精密场景。
高能量与稳定性兼顾
脉冲能量：最高 100 mJ，在 50 Hz 重复频率下可提供 4 W 平均功率，满足大视场快速消融需求；
能量稳定性：1σ 误差≤0.75%，脉冲稳定性（均方根值）达 75%，确保高通量加工中输出一致性，尤其适合需要重复性的薄膜制备（如 PLD 脉冲激光沉积）；
脉冲质量：半高全宽（FWHM）典型值 20 ns，光束尺寸 14×5 mm²，发散角 2×1 mrad²，指向稳定性≤50 µrad，保障微米级加工精度。
智能化系统与易用设计
设备支持基础脉冲控制与系统参数实时记录，通过数字化界面实现工艺参数溯源，便于科研数据复现与工业流程优化。水冷系统仅需≤5 升 / 分钟（10-20℃），连接接口为 1/2 英寸，适配常规实验室与工业冷却设备，整机重量 280 公斤，尺寸 1258×375×813 mm，相比同类产品更节省空间。
COMPex 50 采用紧凑的长方体设计，各侧面尺寸经过优化以适配不同安装环境：
主体尺寸：长 1258 mm× 宽 375 mm× 高 813 mm（50×15×32 英寸），适合集成到生产线或实验台架；
细节设计：服务侧宽度 1256.5 mm，光束出口侧厚度 30.5 mm，连接侧预留接口空间，顶部与底部均设置标准安装孔位，支持多角度安装。
应用场景
脉冲激光沉积（PLD）
在氧化物薄膜、超导材料及纳米结构制备中，COMPex 50 的高能量脉冲可将靶材原子 / 分子沉积到基底上，形成均匀致密的薄膜，尤其适用于复杂组分材料（如钙钛矿、铁电材料）的制备。薄晶圆加工与激光剥离
针对半导体行业的薄晶圆切割、划片及芯片剥离工艺，193 nm 波长的高能量脉冲可实现非接触式加工，避免机械应力损伤，提升晶圆良率，适用于 3D 集成、MEMS 器件等领域。固体取样与元素分析（LA-ICPMS）
与电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）联用，COMPex 50 的脉冲激光可对岩石、矿物、生物组织等固体样品进行微区取样，通过高能量脉冲瞬间汽化样品，实现 ppm 级微量元素的精准分析。
COHERENT COMPex 50 准分子激光器凭借多波长灵活性、高能量稳定性及紧凑设计，成为科研机构与工业企业的优选方案。其核心价值不仅在于参数层面的领先（如≤0.75% 的能量稳定性、20 ns 脉冲宽度），更在于将复杂的激光技术转化为易用的标准化产品，为材料科学、半导体制造、分析检测等领域提供了从研发到量产的全周期支持。对于追求高精度、高可靠性的用户而言，COMPex 50 无疑是不错的选择。
苏州长显